Spin Coater

Lux Meter(조도계)

On-Line Analyzer

O2 & CO2 Gas Analyzer (발효용 O2, CO2 측정기)

Quick Thermal Conductivity Meter (열 전도도 측정기)

Density Specific Gravity Meter (밀도 비중 측정기)

Air Purifier and Sterilizer (공기 정화 세균멸균기)

Heat Flow Meter (열 흐름 측정기)

Specific Conductivity Meter  (액 전기 전도도 측정기)

TOC Analyzer (Liquid Sample)

Karl/Fischer Moisture Titrator (K/F 수분 적정기)

Thermal Analyzer (열 물성 측정장치)

TOC & TN (Total Nitrogen) Analyzer

Automatic Potentiometric Titrator (자동 전위차 적정기)

무소음, 저소음 콤퓨레셔

Robotic Analyzers (Automation for BOD, COD, pH, EC, Turbidity, ISE, Titrations /전자동 수질 종합 분석기)

Automated Wet Chemistry Analyzer
   (전자동 습식 화학 분석기)

Mini Oilless Compressor (소형 콤퓨레셔)

Compact Color Meter(휴대용 비색계)

 Automatic Bio sampler

DC Compressor

Mercury(Hg) Analyzer(수은분석기)

TOC Analyzer (Liquid & Solid Sample)

Cleaning Machinert (고압세척기)

Green Leaf Area Meter(녹엽면적측정기)

TN & Protein Analyzer

 

Gross Meter(선명도측정기)

Fluorescence Analyzer

 

 

 
Spin Coater
 
- Microprocessor control.
- Program control 가능.
- Wafer 크기(Piece ~ 4“, 6”, 8“)에 따라 기종 선정.
- 기존에 외산과 비교해 간편한 조작, 우수한 품질, 경제적인 가격대 실현.
 

[ SPIN 1200 ]

[ SPIN 1200D ]

[ SPIN 3000 ]

 

Specification

 

MODEL

SPIN 1200

 SPIN 1200D

 SPIN 3000

 SPIN 3000A

Substrate Size

 Piece ~ 4" wafer

Piece ~ 4" wafer 

 Piece ~ 6" wafer

Piece ~ 8" wafer 

Chuck speed (rpm) 

300 ~ 7000rpm

100 ~ 8000rpm

100 ~ 8000rpm

100 ~ 8000rpm

 Motor

DC Motor

 DC Servo Motor

 DC Servo Motor

AC Servo Motor 

 Spin state (Program)

 2 Step control

50Step, 20Recipe, Digital program control

 Timer

1 ~ 999 sec, Variable

 Bowl size

8 "

 8 "

12 "

12 "

 Bowl 재질

Al, Acetal, Teflon, PP 등

Vacuum chuck 

 anodzed Al, Acetal, Teflon, PP 등

Dimension (mm) 

230 x 340 x 160 (W x D x H)

390 x 570 x 280 (W x D x H) 

Electric Power 

220V, 60Hz, 5A

 Built in Oilless
Vacuum Pump

 - Max Vacuum : 650mmHg
 - Vacuum speed : 20L/min
 - Motor : 1/8HP