직결형 Oil 진공펌프(G, GLD, GCD series)   Diaphram Dry Vacuum Pump(DA series, DTC series)  Potable Aspirator (MDA-015, MDA-050, MDA-020C)  Accessories(Oil mist Trap, Vacuum Oil) 진공증착장치(Vacuum Coater)  스파터링 장치(Sputtering System)  진공배기장치(High Vacuum Pumping System, Diffusion pump & Turbo punp system)  스코롤 건식 진공펌프(Scroll Dry Vacuum Pump)  진공게이지 (Vacuum Gauge)  헬륨 리크 디텍터 (Helium Leak Detector)

진공증착장치(Vacuum Coater)
	- VPC 시리즈의 고진공 배기장치에 진공용기, 증착용 전원, 증착용 전극, 액체질소 트랩을 부착하여 진공증착장치를 한   것입니다.
	- 소형으로 취급이 쉽고 누구라도 증착을 쉽게 할 수 있습니다.
	- Glass Belljar의 채용으로 내부의 관찰이 용이하고, 각종 실험에 최적이다.
VPC-060 / 060A VPC-260F VPC-410
Model VPC-060 VPC-060A VPC-260F VPC-410 도달 압력 (액체질소 사용시) 6.6x10-4Pa (4.95x10-6torr) 6.6x10-4Pa (4.95x10-6torr) 6.6x10-4Pa (4.95x10-6torr) 1.3x10-4Pa (9.75x10-7torr) 배기 시간 (액체질소 사용시) 1.3x10-3Pa : 20분 (4.95x10-5torr) 1.3x10-3Pa : 20분 (4.95x10-5torr) 1.3x10-3Pa : 20분 (4.95x10-5torr) 1.3x10-3Pa : 8분 (4.95x10-5torr) Belljar Size φ150 x 200H φ150 x 200H φ300 x 300H φ300 x 300H 증착용 전원 0~10V, Max 150A 0~10V, Max 150A 0~10V, Max 150A 0~10V, Max 150A 증발 전극 표준 1점식 표준 1점식 표준 1점식 (2, 3점식은 옵션) 표준 1점식 (2, 3점식은 옵션) 냉각 방식 공냉식 공냉식 공냉식 수냉식 소요전원 본체 1φ/100V/0.6Kw 1φ/100V/0.6Kw 1φ/100V/1.35Kw 3φ/200V/1.35Kw 증착용 전원 1φ/200V/1.0Kw 1φ/200V/1.0Kw 1φ/200V/1.0Kw 1φ/200V/1.0Kw 중 량 22kg 28kg 75kg 80kg 크 기(WxDxH) 350x320x663mm 350x320x663mm 530x480x1135mm 530x480x1180mm 특 징 탁상형 탁상자동형 표준형 고속형